PRODUTOS Microscopia eletrònica
TESCAN SOLARIS Microeletrónica
Uma ótima alternativa para a preparação semiautomática de lamelas de alta qualidade.
• Imagens de ultra-alta resolução e baixo kV de dispositivos semicondutores avançados.
• Determinação precisa da espessura final (end-poiting) com baixa energia do feixe.
• Afinamento final preciso do FIB graças ao excelente desempenho do feixe de iões a baixas tensões de aceleração.
• Fluxos de trabalho e receitas otimizados para uma fácil preparação de lâminas TEM ultrafinas.
• Módulo semiautomático para preparação de lamelas TEM com grande precisão espacial e visualização in situ com detetor STEM.
• Preparação de lamelas TEM de geometria avançada nos nós semicondutores mais avançados da próxima geração.
• Pré-câmaras de transferência rápida.
• Suportes de grelha TEM dedicados com geometria totalmente otimizada para a preparação avançada de amostras TEM.
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